DIN V VDE V 0126-18-5 : 2007
Superseded
A superseded Standard is one, which is fully replaced by another Standard, which is a new edition of the same Standard.
A superseded Standard is one, which is fully replaced by another Standard, which is a new edition of the same Standard.
12-01-2009
01-12-2013
Das Verfahren nach dieser Norm dient dazu, den elektrischen Widerstand von multi- und monokristallinen Halbleiterscheiben im Zustand 'as cut' (ohne gestaltverändernde chemische, physikalische oder mechanische Bearbeitung der Oberfläche nach dem Herstellungsprozess) zu bestimmen, wobei sowohl berührungsfreie als auch berührend arbeitende Widerstandsmessgeräte verwendet werden.
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