DIN 28400-6:1980-10
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VACUUM TECHNOLOGY; TERMS AND DEFINITIONS; SURFACE ANALYSIS TECHNIQUES
Hardcopy , PDF
German
01-01-1980
1 Allgemeine Benennungen
1.1 Probe
1.2 Oberfläche
1.3 Stimulation
1.4 Emission
1.5 Winkel
1.6 Flächen
1.7 Ausbeute
1.8 Analysenarten
1.9 Eigenschaften von Analysegeräten für Oberflächenschichten
2 Analysenverfahren
2.1 Sekundärionenmassenspektroskopie; SIMS
2.2 Oberflächenanalyse durch lonensteuerung; ISS und RBS
bzw. RIBS
2.3 Augerelektronenspektroskopie; AES
2.4 Photoelektronenspektroskopie; UPS und XPS
2.5 Beugung langsamer Elektronen; LEED
2.6 Elektronenenergieverlustspektroskopie; ELS
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