DIN 28400-4:1976-03
Withdrawn
A Withdrawn Standard is one, which is removed from sale, and its unique number can no longer be used. The Standard can be withdrawn and not replaced, or it can be withdrawn and replaced by a Standard with a different number.
VACUUM TECHNOLOGY - TERMS AND DEFINITIONS, VACUUM COATING
08-01-2002
01-12-2013
1 Allgemeine Begriffe
1.1 Vakuumbeschichten
1.2 Substrat/Beschichtungsgut
1.3 Beschichtungsmaterialien/Beschichtungssubstanzen
1.4 Schichtmaterial (Schichtsubstanz)
1.5 Beschichtungsrate (flächenbezogen)
1.6 Bedampfungswinkel
2 Verfahren
2.1 Verfahren zum Vakuumbedampfen und
Vakuumverdampfen
2.2 Verfahren zum Vakuumbestäuben und Vakuumzerstäuben
2.3 Hilfsverfahren
3 Spezifische Bauteile
3.1 Beschichtungskammer
3.2 Verdampfereinrichtung
3.3 Zerstäubungseinrichtung
3.4 Abdeckvorrichtungen
3.5 Haltevorrichtungen, Aufnahmevorrichtungen,
Wechselvorrichtungen
3.6 Substratheizung
3.7 Substratkühlung
3.8 Glimmeinrichtung
4 Vakuumbeschichtungsanlagen
4.1 Art des Beschichtungsverfahrens
4.2 Bewegungszustand des Substrats
4.3 Durchlaufbeschichtungsanlage
4.4 Schleusenbeschichtungsanlage
4.5 Einzel- und Massengutbeschichtungsanlagen
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