FD ISO/TR 22335 : 2008 FD
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SURFACE CHEMICAL ANALYSIS - DEPTH PROFILING - MEASUREMENT OF SPUTTERING RATE: MESH-REPLICA METHOD USING A MECHANICAL STYLUS PROFILOMETER
01-12-2013
Avant-propos
Introduction
1 Domaine d'application
2 Termes et définitions
3 Symboles et abréviations
4 Principe
5 Mode opératoire
5.1 Création du motif répétitif
5.2 Mesurage de la profondeur du cratère de
pulvérisation à l'aide d'un profilomètre
à stylet mécanique
5.3 Estimation de la vitesse de pulvérisation
6 Résumé des résultats de l'essai interlaboratoires
Annexe A (informative) Géométrie de la surface de
l'échantillon et du canon à ions
Annexe B (informative) Motifs répétitifs en fonction de
la taille de l'ouverture de maille
Bibliographie
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